RCA自动清洗机

【设备槪述】1.1设备目的：RECYCLE CLEAN1.2产品尺寸及carrier type：适用于6尺寸之晶圆(25片花篮) * 1花篮1.3操作流程：1.3.1手动设定参数1.3.2手动将花篮置于LOAD区1.3.3按下”启动”按钮，即自动开始预设定之工艺流程1.3.4完成后提示音提醒1.3.5至UNLOAD区手动将花篮取出九槽RCA清洗机用于各种硅晶圆的清洗详细资料来电咨询

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产品介绍

【设备槪述】

1.1设备目的：RECYCLE CLEAN

1.2产品尺寸及carrier type：适用于6尺寸之晶圆(25片花篮) * 1花篮

1.3操作流程：

1.3.1手动设定参数

1.3.2手动将花篮置于LOAD区

1.3.3按下”启动”按钮，即自动开始预设定之工艺流程

1.3.4完成后提示音提醒

1.3.5至UNLOAD区手动将花篮取出

九槽RCA清洗机

用于各种硅晶圆的清洗

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